“老胡，來。咱們一起合影留念！”這時，董教授朝正在觀看工作站顯示屏的胡明鎮(zhèn)，使勁的招手。
“對！這么重要的時刻，咱們一定要記錄下來。”
“小梁、老郝，你們都一起來合影留念。”
董教授、單教授等一干院士級專家教授們都非常興奮，抑制不住內(nèi)心的激動。他們都在手舞足蹈的說著話。
光刻硅晶圓片的速度非常快，兩分鐘不到就可以給一片8英寸的硅晶圓片完成曝光流程工藝。因為這次給朱雀·酷睿I芯片做流片工程，其實就是一次測試。胡明鎮(zhèn)沒安排批量生產(chǎn)，只讓手下的團(tuán)隊準(zhǔn)備了10片硅晶圓片。
在董教授等人邀請他合影留念的時候，正在工作的KrF光刻機(jī)已經(jīng)完成了給第一片硅晶圓片曝光照相的流程，用時在95秒左右。這個速度在目前來說應(yīng)該是全球第一，要遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過那三臺從米國運來的KrF光刻機(jī)。
不但如此，胡明鎮(zhèn)設(shè)計的這臺第三代光刻機(jī)，一直秉承了鳴芯制造公司的傳統(tǒng)，采用雙工制程工藝，擁有兩個工作臺。
在劉教授這幫人激動不已手舞足蹈的時候，這臺光刻機(jī)的激光頭已經(jīng)挪動位置，轉(zhuǎn)到另外一個工作臺上開始掃描掩膜片，給硅晶圓片曝光。
于此同時，另外一只檢驗激光頭開始工作，給已經(jīng)曝光好的硅晶圓片做檢驗，執(zhí)行硅晶圓片蝕刻工藝前的驗片制程工藝。
這一套制程工藝都是一鳴集團(tuán)公司的Foundry制程專利技術(shù)，一般情況下是不對外開發(fā)的。
劉教授、董教授和單教授等一般院士專家，也是沾了光，要向總部首長匯報全國首臺第三代光刻機(jī)科研成果，才得以在這么機(jī)密的環(huán)境里近距離觀看芯片光刻制程工藝流程。所以這幫人非常激動，有點把持不住自己。
看了看這些個鬢發(fā)花白的專家教授，胡明鎮(zhèn)含著笑微微一搖頭，“老劉，合影留念的事情咱們不著急，等驗片結(jié)果出來再說吧。”
芯片光刻、驗片都是微觀的精密工藝，用肉眼是不能檢驗出結(jié)果。只能通過電腦模擬顯示光刻流程和驗片流程是情況。
梁宋松此時的工作就是在觀察芯片掃描光刻的驗片數(shù)據(jù)結(jié)果，兩只眼睛一眨不眨的盯著工作站的顯示屏。突然，他大笑一聲，“成了，老師。第一片硅晶片光刻成品率達(dá)到百分之一百！”
說完這些，他一躍而起，從電腦轉(zhuǎn)椅上跳了起來。
雖然說光刻流程工藝僅僅是芯片流片制程工藝的第一步，后續(xù)的工序仍然會降低芯片成品率，但百之一百的成功率還是值得慶賀的。
“百分一百的成品率？這么厲害？”劉教授聽到這個數(shù)據(jù)，頓時有點瞠目結(jié)舌了。
其他的專家教授們也是如此，頓時都跑到那臺工作站的顯示屏旁邊，想要一睹為快。
此時此刻，電腦屏幕上顯示的一組組圖形比對數(shù)據(jù)，并沒有什么芯片物理圖形，不是很直觀。但那些一組組的比對數(shù)據(jù)卻可以明確的指出，第一片硅晶圓片的曝光光刻成功率。
“各位專家，我們這臺光刻機(jī)采用掃描式曝光制程工藝，其原理和復(fù)印機(jī)的掃描流程很像。當(dāng)激光頭從掩膜片的上方掃過，激光就把掩膜片上的物理電路圖曝光到硅晶圓片的光刻膠涂層，留下電路圖的影像……”
梁宋松指著電腦屏幕，把電腦屏幕上模擬的光刻流程、硅晶圓片比對流程等制程工藝流程，一一跟這些專家們介紹一番。
這些專家們理論知識比較豐富，第三代光刻機(jī)的光刻制程工藝卻比較陌生。
特別是胡明鎮(zhèn)發(fā)明的Fi制程工藝，他們只是在專業(yè)雜志上看過技術(shù)論文報道，根本沒親眼見識過。今天能有這次機(jī)會親眼看到KrF光刻機(jī)實施光刻、驗片等工藝流程，總算是開了眼界。
“這套系統(tǒng)的技術(shù)確實強(qiáng)，已經(jīng)超過我所意料之外。”
“真沒想到，我們?nèi)A國也能制造出這種尖端精密設(shè)備！”
“胡教授，你們給我們國家爭光了。”
劉教授、董教授、單教授等人嘖嘖稱贊，臉上浮現(xiàn)出崇敬不已的表情。
不服氣不行啊，事實就擺在眼前。
這幫教授們此時都在打著小算盤，準(zhǔn)備回去立即鼓動自己的學(xué)生來一鳴集團(tuán)公司任職。“為甚要出國留學(xué)？去鳴芯制造公司任職比留學(xué)還要強(qiáng)許多啊！”他們都如是想著。
這時候，梁宋松洋洋得意的介紹，“各位專家，雙工制程工藝、Fi制程工藝、掃描式制程工藝等先進(jìn)的制程工藝，都是我們團(tuán)隊和老師研發(fā)的，在第二代光刻機(jī)上已經(jīng)得到過驗證。
“不但如此，我們這臺光刻機(jī)還應(yīng)用了浸入式制程工藝。把光刻精度再次提高一大截。這種浸入式制程工藝在全球都是一絕，米國佬就是為了得到這種制程工藝才贈送我們?nèi)_KrF光刻機(jī)的……”
劉教授等人雖然從新聞報道上聽說過梁宋松所說得的典故，但現(xiàn)在親耳聽到這段故事，心情激動的不行，宛如喝了蜂蜜一樣。
“我們?nèi)A國有這種尖端技術(shù)，并不比老外的水平差！”他們都心潮澎湃，胸膛不由自主的挺了起來，腰桿子也值了。
“不要瞎吹了，快準(zhǔn)備好拍照留念的事情。”這時候，芯片技術(shù)大咖胡明鎮(zhèn)卻給梁宋松下達(dá)掃興的命令。
梁宋松沒辦法，只好朝各位專家們歉意的笑了笑，開始準(zhǔn)備布置木椅、幕布、照相機(jī)等設(shè)施。他也知道，自己的老師這是在故意支開自己，不讓自己在這里夸贊老師和團(tuán)隊的功績。
“老胡，從現(xiàn)在的情況來看，這臺光刻機(jī)的性能應(yīng)該達(dá)到設(shè)計要求了吧？”劉教授意猶未盡，瞥了一眼離去的梁宋松，然后走到胡明鎮(zhèn)的身旁。
而胡明鎮(zhèn)卻微微搖頭，“按照我的本意，這臺光刻機(jī)的速度要達(dá)到每分鐘曝光一片硅晶圓片。但由于機(jī)械、光源功率、光源精度等因素的影響，我們的速度只能達(dá)到設(shè)計數(shù)據(jù)的67%。慚愧啊……”
即便這臺光刻機(jī)有可能是全球目前最先進(jìn)的光刻機(jī)，胡明鎮(zhèn)對自己的作品還是感到有些不滿意。
“老胡，你就不要矯情了。有了這臺光刻機(jī)，我們的腰桿子已經(jīng)直起來嘍！”就在這時，章釹京來到光刻室的門衛(wèi)，咧著大嘴笑呵呵的打趣。
【精彩東方文學(xué) www.nuodawy.com】 提供武動乾坤等作品手打文字版最新章節(jié)首發(fā)，txt電子書格式免費下載歡迎注冊收藏。