透鏡的研發成功只是第一步。光

    刻機的制造難度極大，但主要的攔路虎一共有四條。第

    一是制造精度要求極高，一臺光刻機數萬個零件，要求的制造精度最少也是微米級，絕大多數精密部件要求精度達到亞微米級，極少數超高精密零部件的加工精度需要達到100納米200納米。這

    樣高的精度，以國內現行的加工技術，根本做不到。人

    力有時而窮，八級技工的手工打磨最高精度僅能達到亞微米級，就算秉持著十年磨一劍的精神，也磨不出精度只有100微米的極高精密零件。不

    過對于鋼鐵城來說，這已經不是問題。實驗工廠新研發的自動車床、銑床、磨床等一系列加工設備，均達到了最高精度一百多納米的水平，完全達到了個別超高精密零部件的加工要求。

    第二個是高透光度的透鏡。第

    三個攔路虎，則是光刻機的行動部件。

    最后一個，就是短波激光光源。芯

    片光刻，是通過工作臺的移動，來改變光刻聚焦，對光刻膠進行刻蝕。它的運動控制部件優劣，直接決定了光刻的精度，而移動速度，又決定了產率，可以說是光刻機最核心的子系統。要

    保證最佳的對焦調整，工作臺的最小移動距離必須非常小，最好是一個納米一個納米移動。實

    際制作中當然達不到這樣的精度。

    以飛利浦最新款的光刻機為例，它的最小移動距離實際只有300納米。加上光源波長，它的光刻效果，最小線寬達到了三百五十納米。其

    他廠商差不多也是同一水平，有區別也差距不大。

    這就是當前國際最先進的光刻機制程能力。

    所謂一代設備，一代產品。

    最新的奔騰2266處理器，采用的就是350納米線寬的制程工藝。

    白云天進入到實驗室，對李蓮道：“你們這邊進度怎么樣？”

    “非常順利！”李蓮給了他一個笑臉。她

    帶領的小組，負責制造光刻機最關鍵的工作臺子系統，其中最重要的就是運動部件。

    為了保證運動的穩定性，移動部分不是普通導軌，而是空氣懸浮導軌。

    從制造難度來說，它不算太大。

    無非是一兩百納米的加工精度，對才鳥槍換炮的鋼鐵城來說一點難度也沒有。

    之所以它會成為光刻機研制的攔路虎，還是因為導軌設計需要運用到非常高深的流體力學知識，才能驗算出怎樣設計才會將氣流對工作臺穩定性的影響降到最低，從而設計出滿足工業需要的產品。偏

    偏這一點，對白云天最不構成阻礙。

    誰讓他有制造史回顧！從

    科研的角度來說，這時代的其他人就好像盲人在曠野中摸索。

    他們要很小心才不會路上的溝坎、障礙物絆倒，然后還要努力分辨前方究竟是懸崖，還是崎嶇難行的山路，亦或是高不可攀的山峰。只

    有通過空氣流動、潺潺水聲，他們才能花費巨大代價，找到一條前進的道路。但

    即便如此，也許跟著水流、空氣前行，還是會走入死胡同，不得不又退回到起點，重新尋找別的途徑。在這個過程中，他們也盡可能與其他探路者相互交流信息，告訴別人某條路可能走得通，某條路是死路，讓他們不要再去嘗試。

    人類文明每前進一步，都艱辛無比。但

    白云天不同。

    他就如同開了全圖的玩家，一落地，就對四面八方的道路有著完整的認知，絕對不會走錯。決

    定他前進速度的，從來不是尋路的過程，而是有著怎樣的交通工具。

    他可以一直走在正確的道路上，偶爾步入一個岔路，在地上撿到一點不知道誰丟的錢。隨后，他就可以用這錢去買一輛自行車，在接下來的路上騎得更快、更輕松，還有空看看美麗的風景。

    光刻機的制造就是這樣。其

    他光刻機巨頭，需要投入重金，請最優秀的研發人員，用最好的研發設備，潛心研究數年，中途還要用利益跟其他人交換技術，才能艱難地前行一步。

    然而白云天不需要。他

    在一開始，就清楚地知道自己在做什么樣的東西，如何去做。

    只要自己的技術夠了，不需要試多少次，就能將東西做出來。這

    對這時代的其他科研人員是不公平的。但

    這世界，從來沒有公平！

    落后就要挨打，這是永世不變的至理箴言！

    白云天從來不需要顧慮他人的感受，他只是根據自己的目標，堅定地走在自己的路上。

    透鏡、工作臺很容易就做了出來。

    并且他還根據后世設計，對工作臺做了巨大改動，將慣常的一個工作臺，改為了雙工作臺。當

    一個工作臺正在進行光刻工序時，另一個工作臺則提前進行晶圓片更換、定位、微調、測量等前序工作。當那一個工作臺完成光刻，兩個工作臺換位，立即就能進行下一道光刻工序，極大地提升了光刻效率。

    光源部分，是唯一沒有自造的。畢

    竟汞燈只是光刻機光源，波長統一為365納米，其制造難度并不是特別大。國際市場上的供應商很多，全面禁止對華出口的難度較大，很容易買到。白

    云天為了省事，也就沒自造，而是通過國內，直接購買了一套。

    但是他還是做了小幅改進。就

    是用將目鏡浸入純凈液體中的方式，對光束波長進行一定幅度的折射，從而達到聚焦效果。

    在后世，這叫浸入式光源。

    現在各大光科技廠商正在就此技術，進行實驗室研究階段，尚未投入實用。既

    然白云天手里有完整的技術，浸入式光源又能小幅改進光源聚焦，那又為何不用？實

    際使用效果很好。

    采用了浸入式光源技術以后，364納米的光束波長被約束到了312納米！

    比之英特爾使用的350納米技術，提升了近40納米！

    在白云天的親自指導監督下，有李蓮、華新等人直接領導，光刻機的制造進度快得驚人，透鏡、工作臺子系統、光源等最大的技術難點，一一被輕松攻克。經

    過兩個月的技術攻關其實就是逐步熟悉制造工藝，一臺雙工位，最大晶元刻蝕尺寸為200mm的光刻機就順利建造完成，順利得讓所有參與制造的技術人員感覺如在做夢。

    “這就做好了？”當

    最后一塊擋板合上，螺絲擰緊，對光刻機通電系統測試通過，白云天宣布光刻機研發成功，其他人還是不敢相信這個事實，不由竊竊私語。連

    下料到解決一個個技術問題，制作出子系統，再到總裝，兩個月就做出一臺這時代最先進的光刻機……

    這可能嗎？就

    算國內光刻機廠家，有現成圖紙、熟練工，做一臺出來也不止這點時間吧。“

    行不行咱們試試不就知道了。”白云天看著眾人表情，笑了笑沒有解釋。有

    他帶著一種接受了高端制造技術知識注入的新人親自參與，兩個月制造一臺光刻機算什么。要

    不是沒有專用機床設備，哪要得了兩個月！像

    專門制造光刻機的asml，一年就要賣幾十上百臺光刻機出去。

    兩月一臺？這

    么慢的生產速度，早就破產倒閉了！

    光刻掩膜板早就做好了，這是白云天、李蓮親自動手做的，達到了鋼鐵城當前技術極限。掩

    膜并非只有一個，而是一套。光

    刻是個工序多達上百道的漫長加工過程，一道工序，可能就只有極微小的改變。逐步刻蝕掉需要加工部位的光刻膠，然后通過沉積、離子注入等方式，在硅晶元基片上生成所需的元器件、連線等不同部件。

    因此整個過程是支離破碎的，每一次光刻都只針對一道工序，經由數百道工序之后，才會制造出一個包含了所有晶體管、電阻、電容等各種元器件的裸晶片。由

    于工序漫長，每一道工序的掩膜必須嚴格對準，誤差不能超過幾個納米。否則就會出現錯位，導致沉積、注入不到正確的位置，制造失敗。可

    想而知，掩膜版的精度要求是多么高。從

    制成的掩膜版上，眾人只能看到星星點點的點、和縱橫交錯的細線，根本不知道最終出來的電路是怎樣的。

    工序如此之長，當然不可能馬上就得出結果。研

    究人員雖然很好奇，但是他們還有別的研究工作要做，當白云天宣布光刻機研發成功，研制團隊解散以后，他們也只能回到本來的崗位，繼續完成上面交代下來的研究工作。

    一個月后，白云天、李蓮等人穿著一身連套防護服，眼看著一張亮晶晶的晶圓片完成最后一道工序，小心翼翼擺放到了他們面前。

    這還只是裸晶片，還需要經過切割、封裝，才是大眾平常所見到的芯片。

    得知眾所期待的第一次試制完成，聞訊的研究人員們都放下手頭工作，聚了過來。等級較高的研究人員穿上連套防護服，進了實驗室，其他的人則站在玻璃墻外，好奇地看著白云天小心托在手中的晶圓片。“

    白總，這是什么集成電路？”一名實驗室副主任好奇地問道。“

    一款處理器！”白云天沒有繼續保密，笑呵呵地解開了謎底。“

    處理器！”所

    有聽到的人都眼睛一亮，在這些性格沉穩的研究員中，竟然發生了小小的騷動。

    “難道這就是我們要研發的計算機，所用的處理器？”那幾位有資格進入實驗室的主任、副主任都激動起來，忍不住七嘴八舌問道。處

    理器啊！國

    內搞了幾十年集成電路，從最開始就緊跟國外步伐，早在七十年代，就仿制了英特爾的8080，還以此為核心，研發了國產的長城0520微機。

    可不管是8080也好，還是長城0520也好，都是仿制的人家設計。

    可以說，在處理器一塊，國內就沒有任何拿得出手的成績。所

    有有識之士都在焦慮，都在呼吁要研發我們自己的中國芯。可是喊聲再大，國內依然沒有設計出一款自己的處理器，更遑論制造了。

    迄今為止，國產處理器依然是一片空白！

    現在咋一聽到白云天用鋼鐵城自制的光刻機，制造出來的第一批集成電路樣品，就是處理器，所有人都激動到無以自制。這

    肯定不是自己設計的處理器，但能做出來，這就是極大的成功！

    “白總，這是什么處理器？是奔騰，還是486？”旁邊那位副主任，說話的聲音都在顫抖。“

    都不是！”白云天心情極好，逗趣地聳聳肩笑道。所

    有人都露出失望的表情。

    他們根本不敢奢望自制的光刻機，能制造出最新款的奔騰2，能夠做出早期的奔騰處理器就已經足以讓他們興奮不已。

    若是不行，486也將就。可

    是連486都做不出來，那這光刻機制造出來又有什么用。

    “也好，飯總要一口一口地吃，沒關系，我們現在能做386也不錯。現在我們有經驗了，以后我們慢慢改進，總能將光刻機的制造精度提上去，奔騰會有的，未來奔騰2也不是夢想……”一位副主任勉強笑著，安慰道。

    白云天裝不下去了，歡暢地笑道：“我親自主持的項目，怎么可能造一臺只能制造386的光刻機！告訴你們，我們自制的光刻機，最小線寬達到了031微米！用它造出來的這枚晶片，集成度是600萬，比英特爾最新款的奔騰pro還要高五十五萬晶體管！”

    “哇！”

    “不可能吧！”

    “我們自制的光刻機，線寬竟然比英特爾的還要細，這怎么可能？”

    他的話經由通話器，傳到實驗室外，所有聽到的人都是一副震驚的表情，認為他一定是說錯了。習

    慣了跟在人家背后亦步亦趨，他們已經有了小小的自卑和不自信，完全不敢相信，中國人也能做出達到、甚至超過歐美的集成電路。

    “等等，白總，您剛才說這枚處理器的集成度是600萬，那它肯定不是奔騰pro，那它是什么芯片？”有人發現了白云天話中的漏洞，立即叫了出來。其

    他人一聽，也是迅速反應過來。白

    云天之前就說了，這是一枚處理器芯片，然后又說它的集成度為600萬，比奔騰pro還超出一籌。

    可是奔騰pro就是最新款、最先進的處理器了，哪還有什么集成度達到600萬之巨的處理器！他

    一定是在開玩笑。

    所有人臉上一松，可是心中，不知道怎么，又有些隱隱的遺憾。

    如果是真的，那該多好啊……白

    云天微笑著，目光透過護目罩，從眾人臉上一個個看過去，直到環視一圈，才放低音量，輕聲道“它當然不是奔騰pro，它是我們自行設計的華芯一號……”

    沒等他說完，實驗室內外已經一片沸騰，所有人都漲紅了臉，拼命想要說什么。各

    種聲音混雜，誰也聽不清對方在說什么。

    可是沒人停嘴，他們用盡力氣，拼命撕扯著其他同僚的衣服、手臂，想要向白云天說什么。在

    白云天身邊，一種主任、副主任身體晃動，看樣子想要支撐不住的樣子，可他們還是努力相互攙扶，顫聲向他詢問：“白總，真是我們自己設計的處理器？”

    “是！”白云天笑容一斂，嚴肅地回答道。

    “這是真的？”“

    是真的！”

    “您沒騙我們，它真的是我們自己設計研發的第一款國產處理器？”

    “我沒騙你們！”

    白云天表情從未有過的嚴肅，一點笑容都沒有。

    在他身前，幾個曾在國內研究所待了大半輩子的老研究員，忽然失聲痛哭起來。“

    終于，我終于看到了！”

    “這輩子，沒白活！”“

    夠了，夠了，現在就是讓我去死，也沒有遺憾了……”望

    著一種痛哭流涕的老研究員，玻璃墻外面吵雜的研究員們漸漸安靜下來。在

    他們的臉上，同樣是眼淚縱橫。

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